MEMS

概要:MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)とは、半導体集積回路の微細加工技術を応用して作られた機械可動部と電子回路を融合させたデバイスのことです。現在、加速度センサーをはじめ、様々なセンサーに応用されています。DNPは、エレクトロニクス分野で培った微細加工技術をベースに、シリコンウェハやガラスウェハを用いたMEMS加工サービスを行っています。
詳しい内容については、以下のMEMSファウンドリーサービスのサイトをご覧ください。
http://www.dnp.co.jp/works/detail/10109771_18925.html

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