DNP MEMS ファウンドリーサービス
DNPは専業のMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) ファウンドリーとして中立的な立場でサービスを提供致します。MEMSデバイスの試作・開発〜量産まで一貫してサポート致します。単工程、部分工程などウェーハ1枚から受託致します。まずはご相談ください。
これまでに国内外100社以上の加工実績（2001〜）がございます。とりわけSiの深堀り技術(DRIE)を核とした高精度3次元微細加工製品に多数の実績がございます。また、ピエゾ抵抗型3軸加速度センサーで培ったピエゾ抵抗形成技術やマイクロ流路チップなど他製品に展開可能な技術プラットフォームを所有しております。
- MEMSセンサー（加速度センサー、ジャイロセンサー、圧力センサーなど）
- RFスイッチ、マイクロ流路チップなどMEMSデバイス
- 機構部品（３次元マイクロ構造体）
- TSV標準TEG好評発売中！（DNP標準デザインの評価用基板）
