超微細加工関連製品の設計〜量産までをサポートするワンストップサービス

DNPナノインプリントソリューション

各分野での研究・開発・応用が進められているナノオーダーの超微細加工技術をはじめとして、微細加工に関するお客様のニーズにお応えするソリューションを提供するワンストップサービスです。

ナノインプリント(賦型)技術と、それを支える形状設計(光学設計)、金型加工、

材料技術、評価技術をベースに、設計〜原理検証から少量試作検証〜生産までを、

お客様のニーズに合わせてトータルでサポートするサービスです。


DNP−NISの特徴

 ●高精度な光学・パターン設計とチューニング技術
    *設計、金型加工、賦型を自社で行うことにより、

     設計誤差/生産性を考慮したチューニングがスムーズ
 ●高精度ナノ金型加工技術 及び 大面積金型技術
 ●製品の生産性・信頼性を考慮した賦型技術と材料技術


 【用語解説

 ●インプリント/賦型(ふけい)
  金型の表面形状を別の材料に
  転写するプロセス。
 ●UV賦型
  UV(紫外線)硬化樹脂を用いて
  賦型するプロセス。
 ●ワイピング
  賦型により形成された凹凸に
  別の材料を充填するプロセス。
 ●フォトリソグラフィ/EBリソグラフィ
  感光性の材料に光やEB(電子線)
  をパターン照射(露光)することで
  露光/未露光部からなるパターン
  を形成する技術。
  Dry-Etchingのマスク(レジスト)
  パターン作成に適用される
 ●諧調露光/階調露光
  感光性の材料をグレースケールで
  露光する技術であり3Dパターンを
  形成可能。
 ●Dry-Etching(ドライエッチング)
  反応性のガスやイオン、ラジカルで
  材料をエッチングする手法であり
  ナノオーダーの加工に適する。
 ●ナノインプリントリソグラフィ (NIL)
  レジストパターンをパターン露光で
  なくインプリントで形成する技術。
  同じものを多く作る場合に適する。


技術例①:赤外線センサー用回折光学素子

   ・赤外線波長に対応した深い凹凸/高アスペクト賦型
   ・高精度な設計技術(レーザー/LED光源対応)
   ・ディスプレイ部材レベルの信頼性確保。車載向けも開発中。

 ※ご要望の配光特性に応じた設計・試作対応をいたします。
 ※光源パッケージとしてのご提供も準備中です。ご相談ください。


技術例②:シームレス版つなぎ技術(開発中)

   ・大面積インプリントに適用可能な、フィルム版つなぎ技術
   ・レジストインプリントで問題になるつなぎ段差を無くすことに成功

 

 ※製品化に向けた生産技術を開発中です。

 

マスター金型加工技術

 ① 解像度20nm程度の微細パターンや3次元形状パターン金型(最大6インチ角)
 ② 大型基板(1200mm×1000mm)にサブミクロンオーダーのパターンを形成したマスター金型
 ③ ミクロンオーダーのパターンを形成した切削金型(ロール版/バラード版)


ナノオーダーの金型の例

  ※DNPが保有する マルチビーム露光装置による金型の例

     ・低感度/超解像レジストを使用しても、高スループットで描画
     ・矩形、曲線、アングルパターンも図形数によらず一定時間で描画可能


 【用語解説】

 ●バラード版
  ロール形状で加工した版の最外周
  の金属(銅板)を剥がし、平たい版と
  したもの。
 ●ナノ/ナノオーダー
  1ナノ(nm)は1/1000ミクロン(μm)、
  1ミクロンは1/1000ミリメートル(mm)。
  ●アスペクト比
  幅に対する深さ(高さ)の比率。
  例)幅が100nmで深さが200nmなら
    アスペクト比は2
 ●マルチビーム露光装置
  (Multi Beam Mask Writer: MBMW)
  約26万本の電子線を個別に制御し
  描画速度を大きく短縮する装置。
  6インチ角サイズ基板を加工可能。
 ●リフローはんだ付け
  ペースト/クリーム状のはんだを
  基板に塗布し、部品を載せ、高温
  の炉内(〜260℃)を通すことで
  はんだ付けする手法。
 ●Roll-to-Rollプロセス
  コアに巻き取られた長尺のフィルム
  ロールを準備し、フィルムを連続で
  巻き出しつつ何らかの加工をして、
  そのまま別のコアに巻き取る手法。
 


ナノ賦型技術

 ① ガラスやプレート、フィルムなどへのUV樹脂賦型
 ② リフローはんだ付け耐性をもつ材料での高アスペクト賦型
 ③ 大量生産に適したRoll-to-Roll賦型


 

 ●欲しい形状、サイズのモールド/製品が見つからない

 ●微細加工による新機能を試してみたいが技術・インフラがない

 ●(光学)設計〜材料〜試作〜生産〜信頼性までサポートして欲しい

 


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