ナノインプリント技術を応用した超微細加工関連製品の企画〜量産までをサポート

DNPナノインプリントソリューション

DNPナノインプリントソリューションとは、ナノインプリント技術を活用して、超微細加工品関連の用途開発・商品企画から、金型製作、試作品作製、量産まで、市場の創出にもつなげていく新ビジネスです。企画から開発、金型作製、転写試作、製品の量産までを一貫サポートいたします。

概要

 超微細加工金型やその賦形品(微細形状を転写した加工品)の試作・検討に関して、DNPが培ってきたナノインプリント技術を活用し、単なる試作請負ビジネスに留まらず、超微細加工品関連の用途開発・商品企画から、金型製作、試作品作製、量産までを一貫サポートし、市場の創出にもつなげていく新しいサービスです。
この技術を活かした業界初となる本格的な一貫ラインの超微細加工ビジネスとして、磁気記録媒体、発光ダイオード、有機EL、導光板、太陽電池などの各種電子材料、バイオ・医療関連材料等、さまざまな製品を提供していきます。

 

   ●ナノインプリント(nano-imprint)とは?

    ナノインプリントの説明 
    基材の上に形成された材料と金型を、材料が軟らかい状態で圧着し、そのまま硬化させることで金型が持つnm(ナノメートル:10のマイナス9乗メートル)単位から、μm(マイクロメートル:10のマイナス6乗メートル)単位のパターンを安定的かつ安価で転写(賦形)する微細加工技術です。基材はフィルムやガラスなど、 賦形される材料は紫外線硬化樹脂や熱可塑性樹脂などが用いられます。

 

  

 

背景

半導体用フォトマスク 近年、ディスプレイなどの光学製品や、バイオ・医療などのさまざまな分野の製品に、新規な機能を発現できるナノレベルの超微細な加工を施した部品・部材を使用したいというニーズが高まっています。しかし研究機関やメーカーでは、超微細加工品を製造する際に必要な金型や、製造工程に関する専門的な知見や技術を有していないことが課題となっていました。また、nm単位にも対応する専用設備の導入コストも負担となっていました。(注1) 
 DNPは、半導体回路や電子機器の微細化に対応してナノインプリント技術の開発にいち早く取り組み、十数nmの半導体回路パターンの金型製作や、透明なフィルムの表面に数百nmの微細な凹凸を転写形成することで光の反射を防止する超低反射フィルム「モスアイ®」などの実績を重ねてきました。これらの活用実績を通して培ってきた経験・ノウハウ・技術を活かし、業界の要望も強かった金型製作から試作品の作製、製品の量産化までを一貫して行う超微細加工ビジネスを展開します。また、それぞれの製品用途に応じた金型性能、製造工程の改善提案も行い、幅広い分野に貢献していきます。

 

[注1] 半導体産業の分野においては、高額の製造設備を有し、設計済み半導体の製造のみを請け負う「ファウンドリーサービス」というビジネスモデルがあり、超微細加工の分野でも同様の試作請負ビジネスは存在します「DNPナノインプリントソリューション」は、広範囲の加工技術を保有しているという強みを生かし、nmオーダーからμmオーダーの金型の作成や賦形加工品の試作受託に留まらず、商品企画、製品設計から量産までをトータルサポートするサービスです。

 [関連リンク]

 ●半導体用ナノインプリントリソグラフィ用テンプレートの量産を開始(2015/2/19)

 ●パターン培養ツール「CytoGraph(サイトグラフ)」

 ●「印刷するように細胞を培養する(日本のR&D)(2013/8/30) <外部リンク>

 

サービスメニュー及び特徴

●本ビジネスのサービスメニュー

  1. 用途開発、提案等の企画サポート、金型設計
  2. 基になる「マスター金型」の作製 (注2)
  3. マスター金型の複製金型、及び複製金型を面付けした(複数を並べた)大判金型の作製
  4. 金型の形状を転写した賦形試作品の作製、及び製品の量産 

●本ビジネスの特徴

  • 企画から開発、金型作製、転写(賦形)試作、製品の量産まで、一貫したサポートが可能です。
  • nm単位からμm単位までの微細形状の加工を広範囲に提供します。
  • 大型のロール状のフィルム基材を加工し、ロール状に巻き取り製造・納入する“ロールtoロール”の金型や製品の量産も提供できます。
  • DNPが保有する多様な製造設備を活かした量産対応が可能です。
  • 使用している金型の性能評価や改善のサポートにも対応いたします。

 工程イメージ

     

    [注2] DNPで対応可能な「マスター金型」について柱状構造

     転写(賦形)用金型は使用するうちに傷つきや劣化が起きるため、基となる金型を作成した後にこれを複製して使用することがあり、この基となる金型を「マスター金型」(または原版)と呼びます。マスター金型はDNPが保有するリソグラフィー技術や高精度切削技術などを応用して、ご依頼案件ごとのカスタマイズ仕様にて作成いたします。 

      1. 6インチ角の基板上に20nm程度の微細パターンや3次元形状パターンを形成したマスター金型を作製できます。
      2. 大型基板(1200mm×1000mm)上にサブミクロン(10のマイナス4乗メートル=10のマイナス7乗メートル)オーダーのパターンを形成したマスター金型を作製できます。
      3. μmオーダーのパターを形成した、1500mm×930mmの面サイズの金型(ロール版、バラード版)を作製できます。
      4. 上記マスター金型を使用し、フィルムやガラス上に微細加工を施した試作品の提供が可能となります。

 

対象分野

 電子、光学、エネルギー、ライフサイエンス 等、幅広い分野を対象としております。

<用途例>

    バイオチップ
     ・バイオ、ライフサイエンス分野では、表面の微細形状に由来して発現する特異な性質の応用が期待されています。

    回折光学素子
     ・特殊な形状設計を必要とする金型作成についてお困りの場合はご相談ください。 

    光学レンズ素子
     ・光学用途としての、nm〜μmオーダーの微細金型作成や、転写(賦形)加工に関する量産実績もございます。

 企業の研究・開発部門、及び各種研究機関において、超微細加工技術を応用した研究や製品開発、新ビジネスの立ち上げをお考えの際は、ぜひ本サービスをご検討ください。

 

特記事項

  • 本サービスにかかる費用についてはご依頼の内容により変動しますので、お問い合わせいただいた案件ごとにお見積もりをさせていただきます。
  • お客様からご依頼される内容については秘密情報扱いとし、その都度、秘密保持契約を締結させていただきます。

ご依頼、ご相談や本サービスへのご質問については、下記お問い合わせフォームからお問い合わせください。